詳細介紹
產品型號:MWA05-65 | ||
結構 描述 |
臺面尺寸 | 65mm |
移位調整 | 五軸 | |
驅動方式 | 測微頭 | |
驅動位置 | 側向驅動 | |
導軌形式 | 交叉滾柱導軌 | |
自重 | 1.1kg | |
材料 | 硬鋁 | |
表面處理 | 陽極氧化發黑 | |
精度 描述 |
刻度 | ≥10μ/0.5μ |
精度 | 3μ/1.5μ | |
調整量 | ≥2μ/0.1μ | |
承載 | <5kg | |
直線度 | 2μ | |
偏擺 | 25” | |
俯仰 | 15” | |
臺面平行度 | 15μ | |
運動平行度 | 7μ | |
位移方向 | X:13mm | |
Y:13mm | ||
Z:10mm | ||
θx:15° | ||
θz:360° |
關鍵詞:
吉螢光電
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